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氧化鋅、ITO、FTO激光刻蝕機

氧化鋅、ITO、FTO激光劃線機

窄脈寬紅外納秒激光刻蝕機,適用于FTO、ITO、氧化鋅鍍層玻璃、薄膜激光刻蝕。設備標準尺寸600*600mm、600*1200mm,可以滿足10*10mm到300*300mm內的加工需求。

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采用窄脈寬紅外納秒激光器,適用于FTO、ITO、氧化鋅鍍層玻璃、薄膜激光刻蝕。設備標準尺寸600*600mm、600*1200mm(同時預留出小面積300*300mm內的小幅面加工需求)??梢詽M足10*10mm300*300mm內的加工需求。

 

設備簡介

設備采用固體激光器,激光波長1064nm,適合對導電玻璃、薄膜進行精細激光刻蝕;采用自主研發(fā)的控制軟件、直接導入CAD 數(shù)據(jù)進行激光刻蝕,操作簡單,方便快捷;采用通過軟件實時調節(jié)振鏡與直線電機、電動升降工作臺的設計,加上真空吸附托盤裝置,能有效地解決激光刻蝕加工運行中的平穩(wěn)性;采用獨特除塵系統(tǒng)設計,能保證玻璃、薄膜與工作平面的清潔。

 

設備集數(shù)控技術、激光技術、軟件技術等光機電高技術于一體,具有高靈活性、高精度、高速度等先進制造技術的特征??纱蠓秶鷥冗M行各種圖案,各種尺寸的精密、高速刻蝕,并且能夠保證很高的產能,是一個可靠、穩(wěn)定和具有高性能價格比的產品。

 

適用材料

玻璃、PET基底上薄膜激光刻蝕,觸摸屏、光伏太陽能電池、電至色玻璃、其它顯示屏??捎糜趯щ娿y漿、ITO、FTO、氧化鋅、氧化鋯、氧化鈦、碳粉、金、銀等導電金屬、氧化物材料處理(只能針對單層材料激光刻蝕)。

 

整體說明

主要構成:激光器、光路系統(tǒng)、工作臺、控制系統(tǒng)、 定位系統(tǒng)、 抽塵系統(tǒng)、 真吸附空系統(tǒng)等。

 

主要技術參數(shù)

型號

ET650-NF    氧化鋅、ITOFTO激光刻蝕機

激光器

窄脈寬紅外納秒激光器,波長1064nm

加工幅面

600*600mm/1200*600mm(可定制)

聚焦光斑

20μm

激光器頻率調節(jié)范圍

100K-500KHz

刻蝕最小線寬

≥20 um(最大可以去除95%以上的氧化物鍍層)

整機精度

±20μm

最小線間距

20μm

工作臺定位精度

±2um

工作臺重復精度

±1um

CCD自動定位精度

±2um

刻蝕速度

4000mm/s

設備尺寸

1650mmL×1500mmW×1750mmH

設備重量

1800kg

功率消耗

3000W

可處理文件格式

標準CAD DXF文件

注:根據(jù)實驗室前期實驗性階段需要,武漢元祿光電針對性開發(fā)出了實驗室階段小型激光刻蝕機,適用于100*100mm以下導電玻璃激光刻蝕、劃線應用,歡迎前來咨詢了解。


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